设备概述
FSEM系列喷碳仪适用于常规SEM和TEM分析。该设备是全自动系统，从而使操作变得极为简便。秉承人体工学设计理念的同时，紧凑的外观设计和更小的桌面占用面积为您大大节约了实验室空间。FSEM系列喷碳仪为全闭环真空设计，配有全量程皮拉尼真空计等多个传感器实时监控运行状态，保证仪器安全稳定运行。采用高性能旋叶真空泵，快速获得＜1Pa的真空环境，高精度的脉冲电源采用恒压控制，镀膜更纯，膜厚更准，结果重复性更好。
产品特点
◇ 设计美观，操作简单，界面友好、一键镀膜
◇ 可直接放置12个标准钉型样品台，无需工作人员介入，节省人力和时间
◇ 采用ARM架构，全自动控制，控制精度高，操作简单
◇ 低电压，稳定真空环境，可适配多种规格碳材料0.8、1.2、2.4及碳棒等
◇ 镀膜颗粒可达纳米级别，溅射颗粒＜5nm制备薄膜致密，适合高分辨SEM使用
◇ 采用低压脉冲技术，利用W型平面热蒸发减少温度的变化，适用于温度敏感样品
◇ 配有多个传感器实时监控运行状态，保证仪器使用安全
◇ 长期运行，稳定可靠，无需特殊维护
◇ 具备开关机数据存储记忆，修复长期应用偏差
◇ 仪器可全自动控制，更方便用户实现各种自动化控制操作
◇ 软件遵循GMP规范，方便实现用户管理，使用记录等功能
技术参数
|
设备型号 |
FSEM C200 |
|
蒸发类型 |
脉冲W型平面热蒸发 |
|
蒸发源 |
高纯碳绳0.8、1.2、2.4（mm）、高纯碳棒可选，可检测通断状态 |
|
控制模式 |
5寸触摸屏全自动程序控制 |
|
真空系统 |
机械旋叶泵，极限真空＜1Pa真空抽速1L/s |
|
真空测量 |
全量程皮拉尼数字真空计 |
|
工作真空 |
2-8Pa，真空精度可达0.1Pa |
|
样品台 |
可升降，可放置12个标准钉型台，直径可达65mm |
|
蒸发电源 |
恒压脉冲DC蒸发电源0-10V，Max80A |
|
脉冲频率 |
100ms-1s，具备预热除气功能 |
|
溅射时间 |
≤600s，控制精度1s |
|
真空腔室 |
φ130×100mm |
|
供电要求 |
200-240VAC 50Hz，功率1500W |
|
外形尺寸 |
420×260×280mm |
配置清单
|
序号 |
名称 |
规格 |
数量 |
|
1. |
喷碳仪主机 |
FSEM C200 |
1台 |
|
2. |
高纯碳绳 |
φ0.8*1m |
1个 |
|
3. |
高纯碳绳 |
φ1.3*1m |
1个 |
|
4. |
真空管路 |
KF16-1.2m |
1根 |
|
5. |
机械真空泵 |
VRD-4 |
1台 |
|
6. |
合格证、保修卡、说明书、装箱单 |
/ |
1套 |
Copyright © 2021 All Rights Reserved 版权所有苏州费马科仪自动化技术有限公司 苏ICP备19051203号 
苏公网安备32059002004994号 网站制作：汇成传媒
17761910091（微信同号）
