设备概述
FSEM系列喷金仪适用于常规SEM和TEM分析。该设备是全自动系统，从而使操作变得极为简便。秉承人体工学设计理念的同时，紧凑的外观设计和更小的桌面占用面积为您大大节约了实验室空间。FSEM系列喷金仪为全闭环真空设计，配有全量程皮拉尼真空计等多个传感器实时监控运行状态，保证仪器安全稳定运行。采用高性能旋叶真空泵，快速获得＜1Pa的真空环境，高精度的溅射电源采用恒流控制，镀膜更纯，膜厚更准，结果重复性更好。
产品特点
◇ 设计美观，操作简单，界面友好、一键镀膜
◇ 双靶位设计，无需更换靶材，可实现叠层工艺
◇ 采用抽大样品仓，可进行快速制样，样品台可预倾斜及旋转，旋转可调
◇ 可直接放置16个标准钉型样品台，无需工作人员介入，节省人力和时间
◇ 采用ARM架构，全自动控制，控制精度高，操作简单
◇ 低电压，稳定真空环境，可溅射多种常用金属金、铂、钯、银等
◇ 溅射颗粒可达纳米级别，溅射颗粒＜5nm制备薄膜致密，适合高分辨SEM使用
◇ 采用磁控溅射技术，利用平面磁场减少温度的变化，适用于温度敏感样品
◇ 配有多个传感器实时监控运行状态，保证仪器使用安全
◇ 长期运行，稳定可靠，无需特殊维护
◇ 具备开关机数据存储记忆，修复长期应用偏差
◇ 仪器可全自动控制，更方便用户实现各种自动化控制操作
◇ 软件遵循GMP规范，方便实现用户管理，使用记录等功能
技术参数
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设备型号 |
FSEM AA200 |
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溅射类型 |
低压磁控平面溅射 |
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靶材尺寸 |
双靶位靶材，靶材直径32mm |
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控制模式 |
5寸触摸屏全自动程序控制 |
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真空系统 |
机械旋叶泵，极限真空＜1Pa真空抽速1L/s |
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真空测量 |
全量程皮拉尼数字真空计 |
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工作真空 |
2-8Pa，真空精度可达0.1Pa |
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样品台 |
可升降倾斜旋转，可放置16个标准钉型台，直径可达10mm |
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溅射电源 |
双恒流磁控DC溅射电源300-600V，Max50mA控制精度可达1mA |
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溅射时间 |
≤600s，控制精度1s |
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真空腔室 |
φ160×120mm |
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供电要求 |
200-240VAC 50Hz，功率900W |
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外形尺寸 |
520×360×380mm |
配置清单
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序号 |
名称 |
规格 |
数量 |
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1. |
双靶位喷金仪主机 |
FSEM AA200 |
1台 |
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2. |
溅射靶材金靶 |
32×0.1mm |
1个 |
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3. |
溅射靶材铂靶 |
32×0.1mm |
1个 |
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4. |
真空管路 |
KF16-1.2m |
1根 |
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5. |
机械真空泵 |
VRD-4 |
1台 |
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6. |
合格证、保修卡、说明书、装箱单 |
/ |
1套 |
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